“具体什么时候能出工程机？”李一凡问道。
“按照目前的进度，明年一季度末就能完成。”威廉姆斯说，“比原计划提前了三个月。这主要得益于光刻胶团队的配合，他们提供的测试数据帮助我们节省了大量调试时间。”
“工程机提前完成是个好消息，”王立新说，“我们的光刻胶轮转速也加快了。目前对28nm制程的光刻胶已经进行了第三次优化，核心指标非常稳定。”
“详细讲述优化的结果。”李一凡对这些技术细节很感兴趣。
“最大的突破在三个方面。”王立新打开实验数据，“首先是感光性能，能量曝光降低了25%，这对提升光刻机的工作效率很关键。其次是均衡性，偏差控制在1.8nm以内，最后这直接影响良率。是储存稳定性，在常温下可以保存3个月不变质。”
“储存性能很重要。”威廉姆斯点头说道，“这意味着我们的产品可以批量供应给客户，而不必担心运输和存储问题。在日本企业的光刻胶中，能达到这个水平的也不少。”
市科技局局长刘青松问道：“这些技术有自主知识产权吗？”
“当然。”王立新说，“我们已经申请了12项核心专利，其中4项是和中微的联合专利。这些专利完全覆盖了28nm制程中的关键技术点。”
李一凡对这种合作模式很满意：“这就是我们想要的和谐创新。不是简单的下游满足，而是在核心技术上形成合力。省里给我们500亿投资，就是要支持这样的创新模式。”
正说完成时，南大光电的中试车间传来消息：第一批批量产型光刻胶样品制备，各项指标全部达标。这批样品将用于中微光刻机的工程验证。
“产能建设也要提速了。”王立新说，“我们产业园的一期工程明年3月就能完成。设计产能是月产5吨，完全能满足前期的市场需求。”
“上游材料供应有保障吗？”市经信局局长张志强询问。
“这是我要汇报的。”王立新说，“我们已经和几家本土的材料企业达成了合作。电子级偶联剂、光敏剂、偶联液等关键原材料全部自主供应。这对保证产业链安全很重要。”
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